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機(jī)床網(wǎng)
離子束拋光機(jī)系列介紹
2025-04-23 10:10:27

1、離子束拋光機(jī)IFS300A

 圖片3.png

暢銷的離子束拋光機(jī)
雙真空室,快速更換工件,離子束拋光生產(chǎn)效率高。
集成法拉第杯和三坐標(biāo)測頭,法拉第杯測量離子束空間位置及分布,三坐標(biāo)側(cè)頭測量工件空間位置及姿態(tài),從而建立精準(zhǔn)加工坐標(biāo)系,實(shí)現(xiàn)高確定性、高精度的離子束拋光,有效消除中高頻誤差。
工件側(cè)立式裝夾,離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。
無線操作手柄,
離子束拋光控制軟件高度集成、智能;離子束拋光保護(hù)措施完善,具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等。

名稱

參數(shù)

加工能力
(最大工件尺寸)

300mm×300mm
厚度100mm

可加工面形

平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等

可加工材料

石英、微晶、ULE、藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等

可加工精度

亞納米加工精度、可實(shí)現(xiàn)面形RMS<1nm超高精度加工

X軸行程

≥300mm

Y軸行程

≥300mm

Z軸行程

≥300mm

離子源

美國Veeco HC 5cm / 德國射頻離子源

中和器

美國 Veeco HCN / 德國

工作真空建立時間

≤1 hours

副室真空建立時間

≤15 min

X軸最大運(yùn)動速度

5m/min

Y軸最大運(yùn)動速度

5m/min

Z軸最大運(yùn)動速度

3m/min

運(yùn)動軸重復(fù)定位精度

≤±0.01mm

保護(hù)功能

具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等

智能功能

具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。

外形尺寸

長寬高:2.5x2.5x2.1m

整機(jī)重量

4噸

能耗功率

Max:12KW  Avg:5KW



2、離子束拋光機(jī)IFS1000-600B

 圖片4.png

咨詢電話:13522079385

雙真空室,快速更換工件,離子束拋光生產(chǎn)效率高。
集成法拉第杯和三坐標(biāo)測頭,法拉第杯測量離子束空間位置及分布,三坐標(biāo)側(cè)頭測量工件空間位置及姿態(tài),從而建立精準(zhǔn)加工坐標(biāo)系,實(shí)現(xiàn)高確定性、高精度的離子束拋光,有效消除中高頻誤差。
工件側(cè)立式裝夾,離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。
無線操作手柄。
離子束拋光控制軟件高度集成、智能;離子束拋光保護(hù)措施完善,具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等。
智能功能:具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。

 

名稱

參數(shù)

加工能力
(最大工件尺寸)

1000×600mm,250mm厚

可加工面形

平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等;

可加工材料

石英、微晶、ULE、藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等;

加工光學(xué)元件精度

亞納米加工精度、可實(shí)現(xiàn)面形RMS<1nm超高精度加工;

X軸行程

≥1100mm

Y軸行程

≥700mm

Z1軸行程

≥300mm

Z2軸行程

≥300mm

離子源

美國Veeco HC 5cm / 德國射頻源

工作真空建立時間

≤1  hours

副室真空建立時間

≤15 min

X軸最大運(yùn)動速度

5m/min

Y軸最大運(yùn)動速度

5m/min

Z軸最大運(yùn)動速度

3m/min

運(yùn)動軸重復(fù)定位精度

≤±0.01mm

保護(hù)功能

具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等

智能功能

具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。

外形尺寸

長寬高:3.8×3.2×2.6m

整機(jī)重量

9噸

能耗功率

Max:18KW  Avg:7KW



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