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產品特點：

1 、非接觸式測量：避免對象受損。

2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為  1nm ---200μm。

3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。

5、高速數(shù)字訊號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。

6 、掃描儀：采用死循環(huán)控制系統(tǒng)。

7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

8 、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的使用者接口，強大而快速的運算。

應用領域：

1、半導體芯片

2、液晶產品（CS,LGP,BIU）

3、微機電系統(tǒng)

4、光纖產品

5、資料存儲盤（HDD,DVD,CD）

6、材料研究

7、精密加工表面

8、生物醫(yī)學工程